草状氧化铝微结构渐变折射率的计算及实验研究

　摘要：针对草状氧化铝的微纳结构对折射率的影响，采用台体计算法与柱体计算法计算氧化铝的体积，使用Clausius-Mossotti方程式与MATLAB软件拟合计算微纳结构的折射率变化，使用TFC软件进行拟合，最终计算出草状氧化铝的渐变折射率，研究其微结构的形貌特征及渐变折射率的分布，计算其可见光减反射性能。采用电子束沉积氧化铝薄膜，通过对沉积温度、水煮工艺等参数的优化，获得了不同结构的草状氧化铝纳米薄膜，制备了可见光波段420～680 nm的减反射薄膜。