为满足微型发光二极体（Micro Light Emitting Diode, Micro-LED）芯片制造过程中多种晶圆缺陷的高精度自动检测需求，设计了一种大视场偏振双通道Micro-LED晶圆缺陷自动光学检测系统。该系统将显微成像技术与偏振成像技术相结合，增强Micro-LED晶圆缺陷图像的对比度，提升检测准确性；通过无限共轭显微物镜和筒镜的组合使用，扩大单次曝光中采集到的晶圆样品图像面积，提高检测效率。开展实验验证大视场双通道Micro-LED晶圆缺陷光学检测系统的性能，结果表明：该系统放大倍率为20，照明均匀性可达91.6%，最大像方视场为33 mm；该系统的调制传递函数（Modulation Transfer Function, MTF）曲线在奈奎斯特频率31 lp/mm处接近衍射极限，可满足0.8μm的物方分辨力；该系统测量得到的偏振度图像的信息熵、边缘强度、标准差和平均梯度相较传统灰度图像的平均提升率分别为25.6%、24.9%、33%、173.3%。大视场双通道Micro-LED晶圆缺陷光学检测系统可实时捕获不同类型缺陷的特征信息，具有识别效率高、漏检率低等优势，为MicroLED晶圆生产质量高精度检测提供了有力支撑。
