摘要：热阴极电离真空计通过加热阴极实现电子热发射，而阴极高温导致了超高真空中的温度效应，成为影响其测量精度的关键因素。由于阴极区域的气体温度难以直接测量，基于Molflow软件对真空室内的不同工况下的热阴极电离真空计进行模拟分析，获得了空间不同区域的压力分布和气体温度分布。开展了实验测试，观察到了热流逸效应的影响，电离真空计的压力示值的变化规律与仿真结果较为一致。将壁面温度作为特征量修正灵敏度，为电离真空计示值压力修正提供了可行方法，提高了热阴极电离真空计的测量精度。
文章目录
0引言
1仿真方法和分析
1.1 三维模型和仿真参数设定
1.2仿真分析与结果讨论
2实验验证与分析
2.1实验装置与方法
2.2实验结果
3总结
