基于磁控溅射改善陶瓷涂层断裂韧性的研究进展

　　陶瓷涂层因其优异的耐磨、隔热等性能，被应用于各工程领域，但其断裂韧性差、质脆的特点严重限制了其推广。为了改善陶瓷涂层质脆的缺陷，论述了陶瓷涂层的增韧方法以及对应机制，综述了磁控溅射原理以及调控其工艺参数、掺杂其他元素等方法对陶瓷涂层结构、应力、晶界等的影响。总结了目前陶瓷涂层断裂韧性与硬度不可兼得、增韧机制受涂层尺寸影响等研究难点，并从磁控溅射工艺参数、多种工艺和增韧机制协同增韧等方面对提高陶瓷涂层断裂韧性进行了展望。